氣體稀釋校準儀

標準配置

氣動部分
稀釋氣質量流量控制器，0～10 SLM
源氣質量流量控制器，0～100 SCCM
2個校準氣輸入接口和一個清洗接口
4個輸出接口和一個出風口
1個稀釋氣輸入接口

電子器件
高亮度彩色顯示屏（顯示為黑白EL屏）
42鍵觸摸鍵盤
8位數字I/O接口
2個串行數據通訊接口
外部PC鍵盤輸入接口
并行打印機接口
氣源控制接口

電動部分
98～264 VAC，150～300 VA，50/60 Hz運行

Sabio 2010D型氣體稀釋校準儀
可選配置
稀釋氣質量流量控制器，范圍0～20 SLM
源氣質量流量控制器，范圍0～1 SLM
第二個源氣質量流量控制器，范圍0～1 SLM
額外的校準氣接入口
滲透口
內置臭氧發生器
臭氧發生器UV隨動控制回路
側裝便攜帶
耐抗擊的運輸箱
以太網TCP/IP容量

Sabio 2010D型
產品規格

稀釋系統
稀釋氣進口：1個標準接口
源氣進口：2個標準接口，1個清洗接口
額外進口：2個額外接口
稀釋氣質量流量控制器：0～10 SLPM；可選范圍0～20 SLPM
源氣質量流量控制器：0～100 SCCM；可選范圍0～1 SLPM
第二個源氣質量流量控制器：0～1 SLPM
流量準確度：≤±1%滿量程
流量重現性：≤±0.15%滿量程
線性：≤±0.5%滿量程
輸入壓力：20～35 psig
輸出(chu)(chu)接口：4個標準輸出(chu)(chu)口

可選的內置臭氧發生器
輸出：0.05～1.5 ppm@5SLPM
準確度：±2%或者±3 ppb@5SLPM
流量：100 SCCM，±1 SCCM
UV燈溫度(du)：50 ℃，±0.1 ℃

校準界面
運行：通過42鍵觸摸鍵盤手動控制
校準設置：20個出廠設定的校準序列，每個序列zui多20個校準點
校準類型：氣體稀釋，臭氧，GPT
氣體設定：1個稀釋氣，20個源氣
自動校準：根據用戶設定的7天內的校準事件，提供20個定時驅動的校準路徑
數字I/O：8位I/O控制校準功能
接口：RS232

校準系統
運行溫度：5～40 ℃
規格尺寸：6.2"（15.6 cm）H×14.3"（36.4 cm）W×12.4"（31.6 cm）D
重量：19 lbs.（8.6 kg）
輸入電壓：98～264 VAC，100 VA，50/60 Hz